洁净室等级A.B.C.D基本参数规定:
A级洁净区(百级洁净棚)
洁净实际操作区的气温应为20-24℃。
洁净实际操作区的气体相对湿度应为45%-60%
实际操作区风力:水平风力≥0.54m/s;垂直风力≥0.36m/s。
高效送风口泄漏超过99.97%
光强:>300lx-600lx。
噪声:≤60db(动态检测)
B级洁净区(千级洁净棚)
洁净实际操作区的气温应为20-24℃。
洁净实际操作区的气体相对湿度应为45%-60%
房间换风次数:≥25次/h。
压差:B级相对性户外≥10Pa,根据气旋流入,同级差区应保持一定的压差。
高效送风口泄漏超过99.97%
光强:>300lx-600lx。
噪声:≤60db(动态检测)
C级洁净区(万级洁净棚)
洁净实际操作区的气温应为20-24℃。
洁净实际操作区的气体相对湿度应为45%-60%
房间换风次数:≥25次/h。
压差:C级相对性户外≥10Pa,根据气旋流入,在同等水平的不同区域保持一定的压差。
高效送风口泄漏超过99.97%
光强:>300lx-600lx。
噪声:≤60db(动态检测)
D级洁净区(十万级洁净棚)
洁净实际操作区的气温应为18-26℃。
洁净实际操作区的气体相对湿度应为45%-60%
房间换风次数:≥15次/h。
压差:100.000级相对性户外≥10Pa,
高效送风口泄漏超过99.97%
光强:>300lx-600lx。
噪声:≤60db(动态检测)