首先在建造的时候,考虑到洁净等级问题。
1、送风模式。如果百级以上,采用单向流送风模式,顶部FFU满布,底部高架地板回风。千级及以下,采用非单向流模式,FFU不需要满布,侧面回风。换气次数要达到一定的不标准。
2、四周维护保证密闭性,不产尘,易清洁。可用洁净钢板、钢化玻璃等结合方通进行维护。
3、人员、物品进入洁净室通过特定配套设施。人员通过风淋室进行除尘,货物经过货淋室。小件物品通过传递窗。
在使用的过程中,也要保证洁净等级。
1、人员、物品都要按照规定进入洁净室、在洁净室内作业。穿戴好无尘服。物品不能遮挡送风口等除尘设备。洁净室内的物品为不产尘、易清洁的专用物品。
2、洁净室定期清洁,初、高效过滤器定期进行更换。
3、洁净室内配备粒子、风速、压差等传感器,定期对各项指标进行检测,如不达标,查找原因及时改正。